南方财经全媒体记者程浩实习生罗喆东莞报道

7月13日，2023年“创客广东”东莞市中小企业创新创业大赛决赛在松山湖光大We谷产业园举行，18个创新创业项目在决赛中进行激烈比拼，16个项目脱颖而出，成功晋级“创客广东”大赛省赛复赛。其中，企业组的超技工业股份有限公司、创客组的松山湖第三代半导体团队分别斩获大赛一等奖。

“创客广东”大赛是广东省工业和信息化厅、广东省财政厅共同着力打造的“双创”品牌活动，而东莞赛区一直以来都是“创客广东”的重要组成部分，源源不断地为省赛输送优质参赛项目。

本届“创客广东”东莞市中小企业创新创业大赛由东莞市工业与信息化局主办，东莞市专精特新企业联合会承办，围绕建设制造强市、网络强市和数字经济强市建设，通过双创赛事，挖掘、培育和落地一批创新创业项目，为所有有志于展示自我、发挥自我、实现自我的企业及创客搭建一个成就创新创业梦想的平台。

7月13日，2023年“创客广东”东莞市中小企业创新创业大赛决赛圆满收官。程浩 摄

活动当天，18个创新创业项目在决赛中进行对决，经过现场专家评委的严格评选，共有16个项目在决赛获奖，涵盖新一代信息技术、智能家电、机器人、新材料、半导体与集成电路、智能制造、生物医药与健康、新能源等8个领域，成功晋级“创客广东”大赛省赛复赛。

本次比赛中，来自超技工业股份有限公司路演项目“半导体/IC载板行业先进装备制造商”和来自松山湖第三代半导体团队路演项目“大尺寸氮化铝单晶复合衬底”在参赛项目中脱颖而出，分别获得企业组和创客组一等奖。电池材料湿法研磨系统解决方案及产业化(东莞市琅菱机械有限公司)等5个团队斩获二等奖；AI智能交互家庭看护机(元生团队)等9个团队斩获三等奖。

获得创客组一等奖的是来自松山湖第三代半导体团队的“大尺寸氮化铝单晶复合衬底”项目，该项目通过在物理气相沉积与高温退火两阶段进行工艺摸索与材料物理分析，根据测试结果迭代工艺，最终获得晶圆级大尺寸高结晶质量的氮化铝单晶复合衬底，在应用角度具有良率及工艺稳定性高、性能优异，与目前氮化物类器件外延工艺上下游兼容等特点，为大规模产业化生产创造了可能性。

获得企业组一等奖的是超技工业股份有限公司研发的IC载板自动物料搬送系统(AMHS)项目，该系统由线边仓、提升机、走天输送机、中枢模块等部分组成，其中线边仓、提升机、走天输送机分别与IC载板生产的多个工序对接，中枢模块负责线边仓、提升机、走天输送机的智能化控制和统一调度。

超技工业股份有限公司工作人员介绍，在上述结构的配合下，AMHS能够实现IC载板生产工厂中物料的全自动搬送，提升产品在运输过程中的效率，减少产品报废，提升良品率，从而有效提升生产效益。目前该产品获得了不错的市场反响。

南方财经全媒体记者观察到，此次晋级“创客广东”大赛省赛复赛的16个优秀项目，既有来自专精特新“小巨人”企业、高新技术企业、科技型中小企业等带来的创新技术项目，也有来自各大领域学界人才带来的崭新研发成果。

东莞市工业和信息化局四级调研员黎玲东表示，希望借助本次大赛，能够发掘和培育一批优秀的“双创”项目和团队，同时为优质项目打造交流平台，为推动东莞制造业高质量发展、打造“科技创新+先进制造”城市名片做出更大贡献。

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